具有移动式操作结构,适合超大零件轮廓测量。
改进的结构设计,具有更强的防碰撞能力表现。
以陶瓷材质导轨为测量基准,
即使温度变化较大也能保持测量精度。
宽测量范围设计,调节方便。
粗糙度和轮廓测量可以同时进行。
轮廓线性精度[1]:±(1.5+|0.15H|)μm
粗糙度线性精度:≤±(7nm+3.5%)
残余噪声[2]:≤0.012μm
重复性[3]:1δ≤2nm
[1]: (H:测量高度)
[2]:(用方波标准量块测量,Ra为0.35~0.5μm。)
[3]:(λc为0.08mm,光学平面采样速度0.1mm/s。)