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CBPR2000系列粗糙度轮廓测量仪
CBPR2000系列粗糙度轮廓测量仪
产品详情

特点: 
安装有低噪音和数字轮廓检测器。
配备宽量程无导头粗糙度检测仪。
具有良好的大范围轮廓测量、微观轮廓测量性能。
宽范围粗糙度测量。
用于高精度、宽范围粗糙度和轮廓测量的集成仪器。


技术规格:
 

型号
CBPR1000CBPR2000
柱子范围320~620毫米
驱动单元范围100~200毫米
指示精度[1]±(1+2L/100)μm±(0.8+2L/100)μm
直线度[2]≤0.8微米/100毫米≤0.5微米/100毫米
轮廓检测器范围0~±20毫米
指示精度[3]±(1.3+6 |H| /100)μm±(0.6+5 |H| /100)μm
解决0.01~0.2微米
粗糙度检测仪范围±300微米±500微米
距离分辨率1:655361:262144
指示精度≤±(7nm+3.5%)≤±(5nm+3.5%)
重复性[4]1σ≤2纳米1σ≤1纳米
轮廓精度弧线[5]≤±(2+R/8)μm≤±(1.5+R/12)μm
角度[6]≤±2'≤±1'
粗糙度精度残余噪声[7]≤10纳米≤5纳米
行驶速度X轴(水平方向)0.1~10毫米/秒0.05~15毫米/秒
Z轴(立柱)0.5~10毫米/秒0.2~15毫米/秒
轮廓测量功能工件表面线特征、点特征、点间距离、线间距离。各特征的位置精度,包括距离、平行度、垂直度、角度、槽深、槽宽、半径、直线精度、凸度、轮廓分析。
粗糙度测量功能粗糙度函数:Ra、Rp、Rv、Rz、Rz(jis)、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、 Mr2、Rmr 波度参数:Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr 原始轮廓参数:Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr

[1]:(L:测量长度)
[2]:(λc为2.5mm,光学平面采样速度≤0.3mm/s。)
[3]:(H:测量高度)
[4]:(方波测量标准量块,Ra为0.35 ~ 0.5μm。)
[5]:(R:标准球,2mm<R<10mm,采样弧角为120°。)
[6]:(60°和90°角度块规,采样角度边缘长度为5mm。)
[7]:(λc为0.08mm,光学平面采样速度0.1mm/s。)


应用:


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