特点:
安装有低噪音和数字轮廓检测器。
配备宽量程无导头粗糙度检测仪。
具有良好的大范围轮廓测量、微观轮廓测量性能。
宽范围粗糙度测量。
用于高精度、宽范围粗糙度和轮廓测量的集成仪器。
技术规格:
型号 | CBPR1000 | CBPR2000 | |
柱子 | 范围 | 320~620毫米 | |
驱动单元 | 范围 | 100~200毫米 | |
指示精度[1] | ±(1+2L/100)μm | ±(0.8+2L/100)μm | |
直线度[2] | ≤0.8微米/100毫米 | ≤0.5微米/100毫米 | |
轮廓检测器 | 范围 | 0~±20毫米 | |
指示精度[3] | ±(1.3+6 |H| /100)μm | ±(0.6+5 |H| /100)μm | |
解决 | 0.01~0.2微米 | ||
粗糙度检测仪 | 范围 | ±300微米 | ±500微米 |
距离分辨率 | 1:65536 | 1:262144 | |
指示精度 | ≤±(7nm+3.5%) | ≤±(5nm+3.5%) | |
重复性[4] | 1σ≤2纳米 | 1σ≤1纳米 | |
轮廓精度 | 弧线[5] | ≤±(2+R/8)μm | ≤±(1.5+R/12)μm |
角度[6] | ≤±2' | ≤±1' | |
粗糙度精度 | 残余噪声[7] | ≤10纳米 | ≤5纳米 |
行驶速度 | X轴(水平方向) | 0.1~10毫米/秒 | 0.05~15毫米/秒 |
Z轴(立柱) | 0.5~10毫米/秒 | 0.2~15毫米/秒 | |
轮廓测量功能 | 工件表面线特征、点特征、点间距离、线间距离。各特征的位置精度,包括距离、平行度、垂直度、角度、槽深、槽宽、半径、直线精度、凸度、轮廓分析。 | ||
粗糙度测量功能 | 粗糙度函数:Ra、Rp、Rv、Rz、Rz(jis)、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、 Mr2、Rmr 波度参数:Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr 原始轮廓参数:Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr |
[1]:(L:测量长度)
[2]:(λc为2.5mm,光学平面采样速度≤0.3mm/s。)
[3]:(H:测量高度)
[4]:(方波测量标准量块,Ra为0.35 ~ 0.5μm。)
[5]:(R:标准球,2mm<R<10mm,采样弧角为120°。)
[6]:(60°和90°角度块规,采样角度边缘长度为5mm。)
[7]:(λc为0.08mm,光学平面采样速度0.1mm/s。)
应用: