精度更高、测量范围更广的粗糙度和轮廓测量解决方案。
通过一次测量进行高精度轮廓、波纹度和粗糙度分析。
气浮式抗振结构系统,可满足更高精度的测量要求。
自主研发的气浮减振结构系统,用于WALE高精度系列测量仪,也可根据测量要求选配。
更方便的控制单元
控制单元集成了常用的控制命令按钮,方便操作者快速运动控制操作并节省测量时间。
快速运动模式,速度可达50mm/s
驱动单元和立柱模块均采用高速传动组件,大大提高了运动速度,提高了测量效率。
配备升级版测量软件系统
升级版测量软件系统引入了测量对象的概念,可以对测量对象进行全面的分析。
测量报告可根据用户要求定制编辑。
应用案例
技术规格
模型 | 因菲克斯10 | |
柱子 | 测量范围 | 0-620mm可选 |
驱动单元 | 测量范围 | 0-220mm可选 |
指示精度 | ±(0.8+1.5L/100)μm | |
直线度 | ≤0.3μm/100mm | |
探测器 | 测量范围 | ±10毫米 |
Z1轴轮廓指示精度 | ≤±(0.5+|0.08H|)μm | |
Z1轴粗糙度指示精度 | ≤±(4nm+2.5%) | |
重复性 | 1δ≤1nm | |
残留噪音 | ≤4nm | |
手写笔 | 标准,金刚石5μm/90° | |
测量精度 | 弧 | ≤±(1+R/12)μm |
弧铂 | ≤±0.3μm | |
角度 | ≤±1′ |