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经济高效的粗糙度和轮廓一次性测量解决方案。
采用高刚性、高精度、免维护的直线运动导轨，可以控制具有高精度性能的测量系统。
应用案例
技术规格
| 模型 | 因菲克斯10 | |
| 柱子 | 测量范围 | 0-620mm可选 |
| 驱动单元 | 测量范围 | 0-220mm可选 |
| 指示精度 | ±(0.8+2L/100)μm | |
| 直线度 | ≤0.3μm/100mm | |
| 探测器 | 测量范围 | ±10毫米 |
| Z1轴轮廓指示精度 | ≤±(0.8+|0.12H|)μm | |
| Z1轴粗糙度指示精度 | ≤±(8nm+3.5%) | |
| 重复性 | 1δ≤2nm | |
| 残留噪音 | ≤0.012μm | |
| 手写笔 | 标准，金刚石5μm/90° | |
| 测量精度 | 弧 | ≤±(1.2+R/12)μm |
| 弧铂 | ≤±0.3μm | |
| 角度 | ≤±1′ | |
